
Функциональность оборудования: Разработка и производство оборудования для очистки компонентов в соответствии с требованиями заказчика, включая ручные и автоматизированные установки. Предназначено для очистки деталей полупроводникового оборудования, приспособлений, корзин, кварцевых изделий, кв...
Разработка и производство оборудования для очистки компонентов в соответствии с требованиями заказчика, включая ручные и автоматизированные установки. Предназначено для очистки деталей полупроводникового оборудования, приспособлений, корзин, кварцевых изделий, кварцевых печных труб, керамических компонентов и т.д.
Спецификация компонентов: Очистка стандартных или индивидуальных запасных частей.
Технологические возможности: Адаптация под процессы очистки органическими веществами, щелочами и кислотами.
Автоматизация: Полуавтоматические или полностью автоматические системы.
FFU (опционально): Оборудование может быть оснащено вентиляционными модулями с фильтрами для создания чистоты класса CLASS 100.
Опциональные клапаны: Возможность комплектации клапанами CKD, Gemu, Kitz, SMC, SEBA и других производителей.
Опциональные сенсорные панели: Возможность установки панелей управления Proface, Mitsubishi, Siemens, Omron и других производителей.
Время безотказной работы (Uptime) ≥ 98%
Среднее время между отказами (MTBF) > 500 часов
Среднее время между аварийными простоями (MTBA) > 4 часов
Среднее время восстановления (MTTR) < 4 часов