Функциональность оборудования: Передние этапы производства: очистка по методу RCA, мокрое удаление фоторезиста, мокрое травление диэлектрических слоев, мокрое травление металлических слоев, предварительная очистка перед печными процессами и другие.Заключительные этапы производства: травление м...
Передние этапы производства: очистка по методу RCA, мокрое удаление фоторезиста, мокрое травление диэлектрических слоев, мокрое травление металлических слоев, предварительная очистка перед печными процессами и другие.
Заключительные этапы производства: травление металлических и неметаллических подложек на уровне пластин. Металлические слои включают титан, нитрид титана, вольфраминитрид титана, медь, золото. Неметаллические включают стекло диоксида кремния и другие.
Поддержка широкого диапазона размеров обрабатываемых компонентов.
Полный цикл проектирование, производство, тестирование выполняется на заводе-изготовителе.
Собственное программное обеспечение верхнего уровня с поддержкой интеграции в системы EAP и MES.
Поддержка технологий обработки с кассетами и без кассет.
Поддержка параллельной обработки нескольких задач.
Модульная конструкция для удобства обслуживания.
Соответствие стандартам SEMI S2, SEMI S8 и CE.
Сухой вход мокрый выход в комбинации с двухкамерной центрифугой собственного производства для сушки.
Сухой вход сухой выход в комбинации с горизонтальной центрифугой или системой сушки по методу Марангони собственного производства.
Полностью автоматическая функция переворота пластин, совместимость с пластинами 8 и 12 дюймов.
Оборудование для мокрой обработки по индивидуальному заказу.
Обработка круглых пластин от 4 до 12 дюймов и квадратных подложек. Поддерживаемые загрузки 13, 25, 50 штук за цикл или индивидуальное количество по запросу.
Функциональные модули рециркуляция, фильтрация, нагрев, измерение концентрации, измерение pH, охлаждение, качание, сушка, очистка и другие.
Показатели по удалению частиц менее или равно 30 штук для частиц размером от 0.16 микрометров.
Показатели по удалению металлов менее 1E10 атомов на квадратный сантиметр.
Ручная установка мокрой обработки без манипулятора.
Полуавтоматическая установка мокрой обработки с манипулятором верхнего монтажа и вращательным приводом.
Автоматическая установка мокрой обработки с горизонтальным манипулятором. Полностью автоматические версии оснащаются модулем фронтального окончания и системой верхнего транспорта.
Описание продукта: Аналитические весы представляют собой высокоточные измерительные приборы, испо...
Функциональность оборудования Основное применение: выполнение функций транспортировки, дозировани...
Функциональность оборудования: Основное применение: процессы осаждения никеля, палладия, золота, ...
Функциональность оборудования: Разработка и производство оборудования для очистки компонентов в с...
Описание продукта: Высоконапорные насосы, благодаря своей способности создавать высокое давление,...
Описание продукта: Модульные охладители на термоэлектрических элементах сочетают функции охлажден...
Описание продукта: Область применения: плавиковая кислота, буферный раствор фтористоводородной ки...
Функциональность оборудования: Основное применение: гальванизация пластин для передовой упаковки ...
Описание продукта: Продукция серии отличается стабильной производительностью и поддерживает устой...
Описание продукта: Микроаналитические весы — это высокоточный прибор, предназначенный для взвешив...
Описание продукта: Конструкция клапана включает индикатор для удобного визуального контроля полож...
Функциональность оборудования: Основное применение: промывка и центрифужная сушка кремниевых плас...
Описание продукта: Специальная конструкция без контакта с металлом. Возможность перекачивания хим...
Функциональность оборудования Оборудование для очистки FOUP играет ключевую роль в обеспечении чи...
Описание продукта: Продукция данной серии отличается стабильной производительностью и способность...
Описание продукта PFA фитинги подходят для любых систем с ультрачистыми или агрессивными химическ...
