Функциональность оборудования Данное оборудование предназначено для установки в лабораторных помещениях класса 1000 ISO и обеспечивает чистоту внутреннего объема до класса 10 ISO. Осуществляет фильтрацию для удаления загрязнений типичными элементами, такими как B, Si, K, Ca. Предназначено для ...
Данное оборудование предназначено для установки в лабораторных помещениях класса 1000 ISO и обеспечивает чистоту внутреннего объема до класса 10 ISO. Осуществляет фильтрацию для удаления загрязнений типичными элементами, такими как B, Si, K, Ca. Предназначено для использования в лабораториях анализа следовых количеств элементов, специализировано для работы с масс-спектрометрами с индуктивно связанной плазмой.
Планировка: Рекомендуется обеспечить сервисный проход шириной примерно 500-600 мм с задней стороны оборудования.
Габаритные размеры: 1500 x 1000 x 2300 мм (±5 мм).
Конструкция и класс чистоты: Сверхчистый бокс с отрицательным давлением (-5 Па), соответствующий классу чистоты 5 по GB50073. Цельнокорпусное исполнение из полипропилена, стойкого к воздействию сильных кислот и щелочей. Внутреннее оснащение включает один кран из PVDF и полипропиленовую раковину. Газовые краны опциональны.
Фильтрация и стандарты: Конструкция обеспечивает соответствие требованиям класса чистоты 4 по GB50073. Перед отгрузкой проводится тест на герметичность. Используются фильтрующие элементы PTFE уровня U15 производства AAF (США) или аналогичного качества. Результаты испытаний: количество частиц размером 0.3-0.5 мкм не превышает 1 на кубический метр.
Система воздушного потока: Оснащен уникальной системой воздушной завесы, исключающей взаимное влияние внутренней и внешней среды. Наличие вторичной распределительной решетки обеспечивает равномерный уровень чистоты во всех точках рабочей зоны.
Требования к фильтрам и выделениям: Фильтры специально разработаны для минимизации фонового загрязнения за счет выделения бора — используются безборные фильтры. Выделение ионов металлов менее 0.01 ppb.
1.Габаритные размеры: 900 x 1000 x 2300 мм (±5 мм).
2.Конструкция и класс чистоты: Сверхчистый бокс с отрицательным давлением (-5 Па), соответствующий классу чистоты 5 по GB50073. Цельнокорпусное исполнение из полипропилена, стойкого к воздействию сильных кислот и щелочей. Конструкция обеспечивает соответствие требованиям класса чистоты 4 по GB50073. Перед отгрузкой проводится тест на герметичность. Используются фильтрующие элементы PTFE уровня U15 производства AAF (США) или аналогичного качества. Результаты испытаний: количество частиц размером 0.3-0.5 мкм не превышает 1 на кубический метр.
3.Система воздушного потока: Оснащен уникальной системой воздушной завесы, исключающей взаимное влияние внутренней и внешней среды. Наличие вторичной распределительной решетки обеспечивает равномерный уровень чистоты во всех точках рабочей зоны.
4.Требования к фильтрам и выделениям: Фильтры специально разработаны для минимизации фонового загрязнения за счет выделения бора — используются безборные фильтры. Выделение ионов металлов менее 0.01 ppb.
Описание продукта PFA фитинги подходят для любых систем с ультрачистыми или агрессивными химическ...
Описание продукта: Продукция серии отличается стабильной производительностью. Конфигурации с одни...
Описание продукта: Контроллеры расхода в полупроводниковом производстве являются ключевыми компон...
Функциональность оборудования: Основное применение: процессы осаждения никеля, палладия, золота, ...
Описание продукта: Конструкция клапана включает индикатор для удобного визуального контроля полож...
Описание продукта: Модульные охладители на термоэлектрических элементах сочетают функции охлажден...
Описание продукта: Продукция серии отличается стабильной производительностью и поддерживает устой...
Функциональность оборудования Оборудование для очистки FOUP играет ключевую роль в обеспечении чи...
Описание продукта: Продукция данной серии отличается стабильной производительностью и способность...
Функциональность оборудования Основное применение: выполнение функций транспортировки, дозировани...
Описание продукта: Продукция данной серии отличается стабильной производительностью и способность...
Функциональность оборудования: Основное применение: промывка и центрифужная сушка кремниевых плас...
Описание продукта: Данная серия продуктов отличается стабильной производительностью. Конфигурации...
Функциональность оборудования 1.Основное применение в переднем этапе производства (FEOL): RCA-очи...
Функциональность оборудования Основное применение: гальванические процессы формирования Bump, Pil...
Описание продукта: Раздельный расходомер представляет собой измерительный прибор, в котором сенсо...
