Функциональность оборудования Оборудование для очистки FOUP играет ключевую роль в обеспечении чистоты пластин и повышении выхода годных продуктов в полупроводниковом производстве. Удаляя частицы, химические загрязнения и примеси с поверхностей FOUP, оно гарантирует, что эти очищенные компонен...
Оборудование для очистки FOUP играет ключевую роль в обеспечении чистоты пластин и повышении выхода годных продуктов в полупроводниковом производстве. Удаляя частицы, химические загрязнения и примеси с поверхностей FOUP, оно гарантирует, что эти очищенные компоненты не станут источником загрязнения пластин в процессе их транспортировки и хранения.
Совместимые размеры очищаемых компонентов:
Кассеты и коробки для кассет: от 5 до 9 дюймов.
Контейнеры для фотошаблонов: от 5 до 9 дюймов.
Контейнеры или кассеты нестандартных размеров по запросу.
Уровень чистоты после очистки:Эффективность удаления частиц размером до 0.1 мкм достигает 99.99 процентов.
Уровень ионов металлов менее 5E+10 атомов на квадратный сантиметр.
6-дюймовые кассеты и коробки для кассет.
8-дюймовые кассеты и коробки для кассет.
12-дюймовые контейнеры FOUP и FOSB.
Рабочий процесс
Размещение очищаемых компонентов таких как FOUP, кассеты, контейнеры для фотошаблонов на специальной оснастке.
Этап мойки: Вращение в рабочей камере в сочетании со струйной промывкой под высоким давлением.
Этап сушки: Вращение в рабочей камере в сочетании с обработкой горячим азотом и инфракрасным излучением.
Общее время цикла: Весь процесс очистки и сушки занимает до 45 минут и может быть оптимизирован.
Стойки и фиксаторы для 6-дюймовых компонентов.
Стойки и фиксаторы для 8-дюймовых компонентов.
Стойки и фиксаторы для 12-дюймовых компонентов.
Стойки и фиксаторы нестандартных размеров по индивидуальному заказу.
Функциональность оборудования Данное оборудование предназначено для установки в лабораторных поме...
Описание продукта: Раздельный расходомер представляет собой измерительный прибор, в котором сенсо...
Описание продукта: Продукция данной серии отличается стабильной производительностью и способность...
Описание продукта: Специальная конструкция без контакта с металлом. Возможность перекачивания хим...
Описание продукта: Контроллеры расхода в полупроводниковом производстве являются ключевыми компон...
Описание продукта: Продукция данной серии отличается стабильной производительностью и способность...
Описание продукта: Аналитические весы представляют собой высокоточные измерительные приборы, испо...
Описание продукта: Продукция серии отличается стабильной производительностью и поддерживает устой...
Функциональность оборудования: Основное применение: гальванизация пластин для передовой упаковки ...
Функциональность оборудования: Передние этапы производства: очистка по методу RCA, мокрое удалени...
Описание продукта: Модульные охладители на термоэлектрических элементах сочетают функции охлажден...
Функциональность оборудования: Основное применение: промывка и центрифужная сушка кремниевых плас...
Функциональность оборудования: Основное применение: процессы осаждения никеля, палладия, золота, ...
Описание продукта PFA фитинги подходят для любых систем с ультрачистыми или агрессивными химическ...
Функциональность оборудования Основное применение: выполнение функций транспортировки, дозировани...
Описание продукта: Микроаналитические весы — это высокоточный прибор, предназначенный для взвешив...
